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新型分体式电磁流量计添加了新的成像技术和高灵敏度

来源:    发布日期:2019-09-29 11:05:11    作者:

    光谱仪器和解决方案的全球领导者HORIBA Scientific宣布发布其新型分体式电磁流量计 X射线分析显微镜(μXRF),该显微镜可同时进行元素分析和光学观察,而不会破坏或接触样品。分体式电磁流量计结合了HORIBA专有的X射线技术,具有世界上最高分辨率,不仅可以筛查经常在锂离子电池,食品,化妆品和药品的生产过程中引起问题的异物,而且还可以分析元素在半导体集成电路和其他微物体中。它还可以高精度地测量薄膜厚度和附着量。

    通过结合高分辨率显微镜和高强度X射线束的功能,分体式电磁流量计对样品执行无损异物分析,在高速分析模式之间进行切换以快速筛查异物,并进行详细早期模型中首次使用的微束分析模式。
 


    分体式电磁流量计配备三种类型的光学照明:同轴的明场,暗场和透射。将亮场同轴照明和暗场照明结合使用,可以清晰地观察具有平坦或不平坦区域的样品,例如半导体晶圆和薄膜。

    分体式电磁流量计提供了高度准确和快速的异物分析,使其能够检测到可见的异物和小至仅几微米(= 1 / 1,毫米)的不可见异物。用高清光学图像看到这些单个异物可以防止性能下降,外观和质量下降或严重的机械故障。

    与光学观察图像同轴的分体式电磁流量计可以进行精确的分析,而不会发生未对准的情况。高清晰度的光学图像可改善异物的可见性,直到最近,异物仍很难观察到。

    其他改进包括缩短分析时间,增强映射和图像处理,以及与其他分析设备轻松组合。该软件包包括定量和定性的化学分析,厚度测定和图像分析功能。

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